现在只需要用户直🏵🅾接随口一问，AI🏳▶。
首先，电子束光刻🚔👨🔬采用逐点直写，相🧿较于EUV🔠😴一次曝🕦光整片区域，🇦🇱吞吐量🍝🌧。
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